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TEL(Tokyo Electron)Series

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VMM-56-302EX

所属分类：半导体炉体 > TEL > 12Inch Heater

简要描述：

Furnace VendorTEL(Tokyo Electron)Heater ModelVMM-56-302EXMax Temperature800℃Wafer Size12 InchProcessLPCVD-Nitride, POLYProcess Temp Range630℃

产品咨询: 服务电话：0519-88583751

产品详情

Furnace Vendor	TEL(Tokyo Electron)
Heater Model	VMM-56-302EX
Max Temperature	800℃
Wafer Size	12 Inch
Process	LPCVD-Nitride, POLY
Process Temp Range	630℃

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