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所属分类：半导体炉体 > TEL > 6 Inch Heater

简要描述：

Furnace VendorTEL(Tokyo Electron)Heater ModelVMM-28-001Max Temperature850℃Wafer Size6 InchProcessLPCVDProcess Temp500~850℃

产品咨询: 服务电话：0519-88583751

产品详情

Furnace Vendor	TEL(Tokyo Electron)
Heater Model	VMM-28-001
Max Temperature	850℃
Wafer Size	6 Inch
Process	LPCVD
Process Temp	500~850℃

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