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TEL(Tokyo Electron)Series

12Inch Heater	VOS-56-101.101P.101PT/ VOS-56-003/ VMM-56-302EX/ VMU-54-001/ VMM-56-306/ VMM-56-304/ VMM-56-201/ VMM-56-002/
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VOS-56-101.101P.101PT

所属分类：半导体炉体 > TEL > 12Inch Heater

简要描述：

Furnace VendorTEL(Tokyo Electron)Heater ModelVOS-56-101.101P.101PTMax Temperature1000℃Wafer Size12 InchProcessLP-CVD POLYProcess Temp Range600-1000℃

产品咨询: 服务电话：0519-88583751

产品详情

Furnace Vendor	TEL(Tokyo Electron)
Heater Model	VOS-56-101.101P.101PT
Max Temperature	1000℃
Wafer Size	12 Inch
Process	LP-CVD POLY
Process Temp Range	600-1000℃

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